日本ORC真空紫外照度计UV-M06-H采用金刚石薄膜传感器专用的光接收元件适合测量真空紫外光波长为172nm的准分子光

日本ORC真空紫外照度计UV-M06-H特点

用于 172nm 准分子紫外灯照度管理的照度计。

在 172 nm 波长的准分子发射中，可以在照度和光量之间切换。

通过基于 NIST 标准的校准，可以进行绝对值管理。

测量数据可以通过 RS-232C 的通讯输出传输。

◆ 规格

    接收器（可更换）    UV-SD172H-M06（校准波长172nm）

    测量照度范围    0.001-300.0mw/cm 2

    测量光强范围    0.001-19999mJ/cm 2

    拟合精度    在我们的紫外线标准的 ± 5.0% 以内

    重复精度    ±1.5%以内

 以下是通用参数：

◆ 关于SD型和SN型

    　SN型已被长期使用我们曝光设备和辐照设备的客户广泛使用，保证了工艺管理的连续性。

　SD 型用于已经使用其他公司制造的照度计的客户在半导体和液晶基板的制造过程（本公司制造的曝光设备）现场重视确保与那些测量仪器的数据兼容性。 SD型用于投影式曝光设备和液晶基板周边曝光设备），推荐给使用全新照度计的客户。

◆ 关于SD型和SN型指示值

    　SN型在与SD型的指示值相同的测量条件下测量我们测量组中用作校准辐射源的高压UV灯的365nm的照度线，以确保旧过程数据的兼容性　。进行调整，使其显示比显示时显示的照度值高 39%：mW/cm 2显示）。

◆ 关于与其他公司生产的照度计的数据兼容性

    　与可见光照度计（以 LUX 为单位测量家庭、办公室、商店、博物馆等的亮度的照度计）不同，适用于所有紫外线照度计的标准尚未建立（似乎制作 JIS 的工作只用于非常有限的用途）。

　每个公司的相对光谱灵敏度从测量的峰值波长（相对光谱灵敏度特性用 1 表示的波长）开始，即使它是为了测量主要由发射线组成的光源的照度而制作的365nm 短波长侧（300nm～310nm左右）和长波长侧（380nm～400nm左右）的上升、下降波长及其前后的曲线略有不同。

　此外，虽然在设计方面正在努力使被称为COS θ特性的光接收器的光接收角特性更接近理想曲线，但现实是它尚未实现。