SXN-05T
是适用于无尘、无电磁波、无臭氧的洁净区域的工序的新一代除静电装置。其小巧纤薄的尺寸使其易于安装在狭窄的空间内,并且可以通过 RS-485 通信在 PC 上管理累积的主机使用时间信息。
主要特征
-
可以使用 PC 通过 RS-485 通信管理主机的累积时间信息。
-
小巧纤薄,易于安装在狭小空间
-
适用于半导体等静电超敏感器件生产线(SXN-05T)
-
适用于去除小型和近距离目标的静电(SXN-05T)
-
根据《核安全法》(SXN-05T)执行令第 8 条免除单独报告义务
-
通过应用 RMS(Real Monitoring System)(选项)实时监控运行状态
-
-