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是适用于无尘、无电磁波、无臭氧的洁净区域的工序的新一代除静电装置。其小巧纤薄的尺寸使其易于安装在狭窄的空间中，并且可以通过 RS-485 通信在 PC 上管理累积的主机使用时间信息。
可以使用 PC 通过 RS-485 通信管理主机的累积时间信息。
小巧纤薄，易于安装在狭小空间
通过应用 RMS（Real Monitoring System）（选项）实时监控运行状态
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