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是适用于无尘、无电磁波、无臭氧的洁净区域的工序的新一代除静电装置。当主管出现问题时,副管自动运行,无需停止生产线即可继续生产,生产效率高。
当主管出现问题时,副管自动运行(主管运行期间副管停止)
经济,因为它可以由每个管模块购买
可以从控制器检查头序列号(使用 SXC-104N 时)
可通过控制器检查头部位置(使用 SXC-104N 时)
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